一种快速无损压电系数d33检测装置及方法

本发明涉及压电系数的检测领域，尤其涉及一种快速无损压电系数d33检测装置及方法，采用微冲击动态响应法替代传统静态剥离测试，通过在压电测试探头中设置微型冲击头对待测薄膜进行1‑10ms的短时机械冲击，利用短时机械冲击激发薄膜的局部压电效应产生压电信号，并对压电信号进行分析，实现待测薄膜的无损检测，且通过控制微型冲击头的冲击速度和施加的瞬时载荷参数有效避免了材料塑性形变。