一种阵列型光谱MEMS芯片及其制备方法

本发明涉及光谱芯片技术领域，公开了一种阵列型光谱MEMS芯片及其制备方法，其中，芯片包括阵列排布的多个测量单元；多个测量单元通过一套通电正负极连接；测量单元包括基板、驱动电极、设于基板上的第一镜体和设于第一镜体上方的第二镜体；第一镜体与第二镜体之间间隔预设距离，并形成FP干涉腔；驱动电极设于第二镜体处，用于驱动第二镜体移动，以调整FP干涉腔的大小；各个测量单元的FP干涉腔的腔长相同、驱动电极的静电驱动区域面积尺寸不同；多个测量单元同时执行工作时使用的光谱分析方法为空间分光方法。本发明能够覆盖不同的光谱测量范围，通用性较强且检测效率较高，适配于多样化及复杂的光谱分析场景。