一种高速光通讯的外延芯片结构

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一种高速光通讯的外延芯片结构
申请号:CN202510534314
申请日期:2025-04-27
公开号:CN120357266A
公开日期:2025-07-22
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种高速光通讯的外延芯片结构,从下至上依次包括:第一布拉格反射层、N型InP层、第一InAlAs披覆层、第二InAlAs披覆层、P型InP层、P型InGaAsP层、P型InGaAs层以及第二布拉格反射镜层,在第一InAlAs披覆层的下端面上设有氧化物电流隔绝层,在氧化物电流隔绝层的中部设有第一开口区,通过第一开口区露出第一InAlAs披覆层,在开口区中成长一激光器主动层,第二InAlAs披覆层成长于激光器主动层和氧化物电流隔绝层之上。本发明在外延结构中制作氧化物电流隔绝层,可直接有效并稳定地控制电流范围进而实现达成其效能,而且在于高电流密度时,芯片效能亦比使用穿隧式PN结设计更佳。
技术关键词
外延芯片结构 光通讯 布拉格反射镜 布拉格反射层 量子井结构 激光器 电流 制作氧化物 台阶 外延结构 效能 二氧化硅 氧化铝 混合物 波长
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