一种可变形电子束光刻机束斑尺寸计算方法及系统

本发明公开了一种可变形电子束光刻机束斑尺寸计算方法及系统，方法包括步骤：S1.根据电流强度与束斑位置的关系曲线，采用双曲余弦函数作为基函数，通过平移和叠加构建复合函数模型；S2.假设观测值为复合函数模型的噪声版本，建立似然函数；通过最大化对数似然函数，转化为最小化残差平方和：对最小化残差平方和分别关于各参数求偏导，得到梯度方程组；S3.对测量信号进行运算，提取曲线中的关键特征点；根据特征点位置计算初始参数值：将初始参数作为输入，迭代求解梯度方程组，得到各参数的精确解；S4.根据各参数的精确解，计算电子束斑的实际尺寸、中心位置以及左右边缘锐度。本发明具有计算精度高等优点。