一种生成晶圆图的方法、装置及测试晶圆的设备

本申请提供了一种生成晶圆图的方法、装置及测试晶圆的设备，包括：确定晶圆上划分的多组测试组中的任意一组为预设测试组，确定预设测试组上标定位置的第一坐标以及预设测试组内测试结构标定位置的第二坐标；确定预设测试组与晶圆的第一位置关系，并根据测试组的尺寸和第一位置关系在晶圆上对各测试组进行排布；根据第二坐标和第一坐标，确定测试结构与所在测试组的第二位置关系，根据第二位置关系对各测试组中的测试结构进行排布；根据第一坐标、芯片的尺寸以及测试组的尺寸，对各测试组内的芯片进行排布，生成第一晶圆图。不受测试组内芯片数量的影响，极大的提高了生成晶圆图的效率。