摘要
发明公开了一种GaAs芯片的样品测试系统，属于芯片测试技术领域，包括源测量单元对样品施加偏置电压；可调谐光源模块提供稳定且波长连续可调的单模光束；光学耦合模块将所述单模光束耦合到样品上；光电探测及转换模块收集样品在不同波长的单模光束下的光电流信号并转换为电压信号；数据采集及处理模块采集各电压信号以及对应的波长并绘制光电流谱曲线；带隙能量分析模块根据所述光电流谱曲线分析当前样品的带隙能量。本发明通过控制光源波长探测芯片光电响应后的光电流变化，并转换为数据明显、便于记录的电压信号变化来绘制光电流谱曲线，高效精准分析芯片的带隙能量。
