用于原子级加工的工艺数据推送方法、装置、存储介质及设备

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用于原子级加工的工艺数据推送方法、装置、存储介质及设备
申请号:CN202511574309
申请日期:2025-10-31
公开号:CN121029834A
公开日期:2025-11-28
类型:发明专利
摘要
本发明提供用于原子级加工的工艺数据推送方法、装置、存储介质及设备,包括:接收用户发送的工艺查询信息;根据工艺查询信息提取至少一种用户查询的目标元素;根据工艺查询信息的目标元素中调取目标元素对应的至少一组工艺数据以及推荐权重信息;若工艺数据超过一组,结合工艺数据对应的推荐权重信息得到各组工艺数据的推送权重;结合推送权重对工艺数据排序后推送至用户。结合用户查询的目标元素推送最佳的工艺数据,减少用户不断查找工艺数据以及过度依赖经验值选择前驱体的弊端。
技术关键词
数据推送方法 元素 因子权重 原子层刻蚀工艺 数据推送装置 原子层沉积工艺 自然语言模型 通讯 模块 处理器 计算机设备 可读存储介质 存储器 节点 表达式 资源 索引