高功率窄线宽混合集成激光器

本发明涉及半导体激光器领域，尤其涉及一种高功率窄线宽混合集成激光器，包括宽波导激光增益芯片和硅基外腔光子芯片，硅基外腔光子芯片包括尖端多段式边缘耦合器、总线波导、至少三个级联的微环谐振器和反馈组件；尖端多段式边缘耦合器包括尖端波导阵列和锥形组合波导，尖端波导阵列由并排设置的倒锥形波导构成，倒锥形波导的输入端面的宽度小于输出端面的宽度；锥形组合波导的宽度从输入端到输出端逐渐递减。本发明解决了高功率与窄线宽在混合集成激光器中难以兼顾的行业难题，具有高输出功率、极窄线宽、宽调谐范围、高耦合效率、良好工艺容差及高集成度等优势，为下一代相干光通信、激光雷达和精密测量系统提供了高性能光源。