一种基于可变容积腔体的模具表面碳膜层的高效脱膜设备及脱膜方法

本发明公开了一种基于可变容积腔体的模具表面碳膜层的高效脱膜设备及脱膜方法，涉及精密模具表面处理技术领域，本发明提出容积自适应腔体设计与工艺参数动态匹配策略，通过设置可变容积腔体模块和内置特定算法动态的控制单元，结合射频频率、气体流量、温度等参数的动态匹配，实现了“腔体容积变化‑工艺参数自适应‑退膜效果最优”的闭环控制，实现不同规格模具的高效、均匀退膜，从而有效解决了现有真空等离子体碳膜层脱除法存在局限性。