一种片上集成光频梳产生结构以及光频梳产生方法

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一种片上集成光频梳产生结构以及光频梳产生方法
申请号:CN202511525368
申请日期:2025-10-24
公开号:CN120999397A
公开日期:2025-11-21
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种片上集成光频梳产生结构以及光频梳产生方法,所述结构由激光器芯片和集成光学微腔芯片异质集成,集成光学微腔芯片包括偏振分束器、两个环形滤波器、Add‑drop型微腔和两个输出端口;偏振分束器用于将激光器芯片注入的激光分为TE模和TM模,并且具有不同的功率配比,分别注入两个环形滤波器;两个环形滤波器分别设置有加热电极,用于控制所通过的波长大小,两个环形滤波器具有不同的直径用于传输不同的波长;Add‑drop型微腔用于产生光频梳,微腔上方设置有加热电极,用于控制通过微腔的谐振波长。本发明能够解决现有的光频梳调试系统庞大、调试复杂的问题,可极大地减小微腔光频梳的体积,降低功耗。
技术关键词
环形滤波器 集成光学 光频梳 偏振分束器 微腔 加热电极 二氧化硅 接触电极 波长 波导端面 半导体激光器芯片 铌酸锂衬底 铌酸锂薄膜 光刻 异质 调试系统