晶圆自动物料传输系统的调度方法及系统

本发明公开了一种晶圆自动物料传输系统的调度方法及系统，包括获取目标晶圆自动物料传输系统的数据信息；基于晶圆自动物料传输系统的调度成本，构建目标晶圆自动物料传输系统的调度模型；基于灰狼算法、竞争性群体优化算法和随机游走算法，对构建的调度模型进行求解；根据得到的求解结果，完成目标晶圆自动物料传输系统的调度。本发明基于调度成本构建目标晶圆自动物料传输系统的调度模型，并采用由竞争性群体优化算法和随机游走算法改进后的灰狼算法对构建的调度模型进行求解，因此本发明不仅能够实现晶圆自动物料传输系统的调度，而且改进后的灰狼算法能够保证调度过程的高可靠性、高准确性和高效率。