版叉结构、掩模版传输装置及半导体设备

本申请实施例提供一种版叉结构、掩模版传输装置及半导体设备。该版叉结构包括：版叉主体，版叉主体形成容纳掩模版的空间；两个夹爪组，两个夹爪组均与版叉主体转动连接；位置调节机构，位置调节机构设置于版叉主体，用于驱动两个夹爪组相对于版叉主体旋转预设角度，使两个夹爪组中的其中一组处于夹持工作位，以夹持搭接位置与夹持工作位对应的所述掩模版。通过旋转两套夹爪组，实现两类掩模版的高效兼容，无需开腔，提升了整机的产能和可靠性。