一种增强激光振镜重复精度的控制方法及系统

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一种增强激光振镜重复精度的控制方法及系统
申请号:CN202511513174
申请日期:2025-10-22
公开号:CN120974327A
公开日期:2025-11-18
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种增强激光振镜重复精度的控制方法及系统,方法包括:采集激光功率波动和镜面温度序列数据,经预处理得到热效应状态向量,然后对其进行噪声干扰更新,输入至神经网络模型,得到初步热变形预测值,再结合预设的补偿矩阵,计算角度补偿参数,得到初步补偿信号;然后进行后验状态估计修正,调整控制参数,得到增强补偿信号;继而生成指令输入序列并进行迭代优化,得到优化角度补偿参数;融合位置反馈,得到稳定输出轨迹;计算其与实时轨迹数据的偏差,优化热效应状态向量,得到优化热效应状态向量,并据此重新计算角度补偿参数,得到最终角度补偿参数。本方法能够显著提升激光振镜系统在复杂热效应下的轨迹精度和稳定性。
技术关键词
实时轨迹数据 序列 生成指令 参数 线性插值方法 卡尔曼滤波算法 神经网络模型 信号 偏差 激光振镜系统 精度 热变形预测 镜面 数据获取模块 功率 协方差矩阵