版叉结构、掩模版传输装置及半导体设备

本申请实施例提供一种版叉结构、掩模版传输装置及半导体设备，该版叉结构包括：版叉主体以及多个夹爪；版叉主体包括多个横梁，多个夹爪设置于多个横梁上；多个夹爪用于共同取放和承载掩模版容器；版叉主体内设置有移位驱动器，每个横梁内设置有定位导轨和多组锁紧机构；多组锁紧机构分别对应不同类型的掩模版容器的搭接区域；移位驱动器被配置为驱动多个夹爪沿定位导轨移动，并通过其中一组锁紧机构锁定多个夹爪的位置，以适配不同类型的掩模版容器。仅需设置一组夹爪，整机布局更加紧凑，通过平移夹爪适配不同类型掩模版容器，提升了兼容性，简化了切换流程，提高了整机效率和产能，同时避免了开腔污染。