一种旋转式真空热压键合装置及方法

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一种旋转式真空热压键合装置及方法
申请号:CN202511477919
申请日期:2025-10-16
公开号:CN120998792A
公开日期:2025-11-21
类型:发明专利
摘要
本发明涉及热压键合设备技术领域,具体公开了一种旋转式真空热压键合装置及方法,包括支撑环,所述支撑环的上表面呈环状固定连接有支撑杆,还包括:键合机构,所述键合机构固定安装在支撑杆的顶部;加强机构,所述加强机构固定安装在键合机构的内部。本旋转式真空热压键合装置及方法,通过驱动架的往复上下移动即可驱动转动盘间歇性的顺时针转动,从而自动完成芯片组合板的上料、热压和下料,大幅提高本设备的自动化程度,从而大幅降低本设备的使用门槛,同时通过将键合槽局部抽至真空即可大幅提高生产效率,避免需要大范围的抽真空导致的生产缓慢的问题。
技术关键词
热压键合装置 驱动架 旋转式 真空 弹性伸缩杆 加热块 底盘 组合板 顶盘 储料管 热压键合设备 驱动液压设备 弹性片 气管 芯片 支撑杆 滑动板 滑动环 安装槽