基于AI的锗烷提纯工艺过程异常预警方法及系统

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基于AI的锗烷提纯工艺过程异常预警方法及系统
申请号:CN202511468185
申请日期:2025-10-15
公开号:CN120951223A
公开日期:2025-11-14
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种基于AI的锗烷提纯工艺过程异常预警方法及系统,首先获取锗烷提纯工艺过程中的关键操作数据集合与工艺状态数据集合,接着构建提纯过程数据关联模型,得到关联关系特征集合,该模型可表征操作参数与设备运行状态、操作参数与锗烷产物特性、设备运行状态与锗烷产物特性之间的关联关系。然后调用预训练的工艺异常分析AI模型对关联关系特征集合进行异常倾向识别处理,得到工艺异常初步识别结果。再根据初步识别结果确定异常事件类型及影响范围,得到异常事件详细信息。最后基于异常事件详细信息生成包含异常定位标识与应对措施建议的锗烷提纯工艺异常预警指令并发送至提纯工艺控制终端。该方法可提高锗烷提纯工艺的稳定性和产品质量。
技术关键词
异常事件 提纯工艺 模式特征向量 预警方法 数据关联规则 设备运行状态 参数 锗烷 策略 关键词 历史设备 关系 偏离特征 模式匹配算法 标识 措施 分析模块