一种Micro LED芯片剥离装置

本发明涉及Micro LED芯片剥离技术领域，具体公开了一种Micro LED芯片剥离装置，包括剥离设备主体、放置平台以及激光发射头，还包括激光器，激光器内部设有泵浦源以及增益介质，波长调节组件，波长调节组件位于输出镜外侧，此Micro LED芯片剥离装置，通过工业相机实时拍摄剥离区域图像，通过设置的波长调节组件辅助监测激光波长，当激光波长发生偏移后，波长调节组件调节全反镜与输出镜之间的距离，确保激光能量精准匹配Micro LED界面层的吸收特性，在工业相机拍摄到剥离不完全时，散热组件增强对激光器表面的散热，散热组件每增强散热一次都会控制警报组件的机械计数结构工作一次，从而在多次剥离异常时及时发出警示，避免持续生产不良品。