一种离子源清洗装置及清洗方法

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一种离子源清洗装置及清洗方法
申请号:CN202511440560
申请日期:2025-10-10
公开号:CN120921281A
公开日期:2025-11-11
类型:发明专利
摘要
本发明公开一种离子源清洗装置及清洗方法,清洗装置包括喷枪,喷枪第二喷口、第一喷口可选择性开启或封闭;喷洗仓内设有置物网和集液漏斗,所述集液漏斗底部连接出液管;输送管道连接所述出液管与所述喷枪的进液管。本发明通过喷枪的多档位设计,配合第一喷口和第二喷口的切换,能够精准地对离子源部件的表面、内壁及小孔进行清洗,实现全方位的清洗效果;同时,结合喷洗仓、输送管道等结构,实现氧化铝浆的循环利用,整个清洗过程无需人工手动擦拭,清洗时间缩短至30~40分钟,显著提高了清洗效率,还降低了挥发性有机溶剂对分析人员健康的危害风险,有效解决了现有技术中存在的清洗效率低、不彻底以及对操作人员存在健康威胁的问题。
技术关键词
离子源 喷口 喷枪 氧化铝 档位 清洗方法 切换阀 氮气 容纳待清洗 挡杆 滑杆 端头 弹性件 管道 小孔 进液管 机械臂 壳体 圆柱状 轴心