一种MEMS氢气传感器的漂移补偿方法及系统

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一种MEMS氢气传感器的漂移补偿方法及系统
申请号:CN202511138459
申请日期:2025-08-14
公开号:CN120629505B
公开日期:2025-10-28
类型:发明专利
摘要
本申请涉及零点漂移补偿技术领域,具体涉及一种MEMS氢气传感器的漂移补偿方法及系统,该方法包括:将MEMS氢气传感器放入恒温恒湿试验箱中,采集MEMS氢气传感器在各预设温度下各时刻的输出电压;确定各预设温度下各时刻的输出电压的第一分布特征值与第二分布特征值;得到各预设温度下各时刻的输出电压的剔除系数;利用所述剔除系数去除各预设温度下采集的所有输出电压中的噪声数据,协同预设温度与各时刻输出电压对应的湿度,拟合非线性多元回归模型,结合MEMS氢气传感器的零点电压,对MEMS氢气传感器的输出电压进行漂移补偿。从而提高MEMS氢气传感器的漂移补偿精度。
技术关键词
氢气传感器 漂移补偿方法 多元回归模型 电压 特征值 噪声数据 恒温恒湿试验箱 非线性 补偿技术 处理器 样本 存储器 速率 精度