半导体芯片缺陷检测定位方法及系统

本发明提供半导体芯片缺陷检测定位方法及系统，涉及半导体芯片检测技术领域，包括获取原始图像及电学测试数据；基于局部密度分析形成缺陷候选区域；对电学数据执行变分模态分解并标记电特性异常点；将图像特征映射至电特性空间并计算互信息值确定缺陷点；计算扩散场分布及路径并确定缺陷严重程度。本发明实现了芯片缺陷的精确定位与严重程度评估，提高了检测效率和准确性。