超表面光栅偏振敏感度的双光束差分测量装置及方法

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超表面光栅偏振敏感度的双光束差分测量装置及方法
申请号:CN202510920337
申请日期:2025-07-04
公开号:CN120427110B
公开日期:2025-09-05
类型:发明专利
摘要
本申请涉及光学设计技术领域,公开了超表面光栅偏振敏感度的双光束差分测量装置及方法,包括:通过光纤耦合器将预生成的光束分为第一光束和第二光束,并对第二光束的偏振态进行动态切换,得到第二入射光束,基于第二入射光束对第一光束进行调节,得到第一入射光束;将第一入射光束通过无超表面光栅的第一路径,第二入射光束通过包括超表面光栅的第二路径,得到第一输出光束和第二输出光束;对第一输出光束和第二输出光束进行时域差分,计算得到多偏振态差分信号;通过预设的差分修正机制,对多偏振态差分信号进行修正,得到修正差分信号;根据修正差分信号,计算出超表面光栅的偏振敏感度;本申请可以提高计算出的超表面光栅偏振敏感度的准确性。
技术关键词
差分测量方法 光束 光栅 偏振态 超表面 误差识别 误差曲线 光程 反射率 光学设计技术 误差修正模型 频域特征 信号分析模块 圆偏振 波长 光强 光纤 动态 机制