一种嵌入式多芯片互连桥及其制备方法和应用

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一种嵌入式多芯片互连桥及其制备方法和应用
申请号:CN202510837161
申请日期:2025-06-23
公开号:CN120376432B
公开日期:2025-09-12
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种嵌入式多芯片互连桥(EMIB)及其制备方法和应用,属于集成电路封装技术领域。本发明以ABF树脂材料为绝缘材料的基板,替代传统的以硅为绝缘材料的EMIB。以coreless为承载板,采用ABF材料逐层压合,用SAP工艺制作铜线路层,待拆分板对称拆分后,压合以满足板厚,再以线路中心切割,可以得到完全对称的两块以ABF为介质的嵌入式多管芯互连桥,其切面为矩阵型的焊盘,可以作为EMIB与芯片封装对接面。由于使用了ABF树脂,其介质材料与要嵌入到的IC封装基板一致,可以大大降低EMIB的应力不均与硅桥开裂风险。且采用ABF制作的EMIB,由于ABF的材料成本与加工成本远低于硅基材料,因此,具有很明显的成本优势。
技术关键词
嵌入式多芯片 铜箔 嵌入式多管芯互连桥 铜线路板 集成电路封装技术 电镀铜 绝缘材料 开裂风险 干膜 介质 封装基板 芯片封装 树脂材料 种子层 承载板 矩阵 贴膜
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