一种高稳定性的MEMS氢气传感器及其制备方法

本发明公开了一种高稳定性的MEMS氢气传感器及其制备方法。所述高稳定性MEMS氢气传感器，为基于金属氧化物气敏涂层的半导体电阻型氢气传感器，从下到上依次包括氮化硅支撑层、Pt/Ti加热电极及传感电极、氮化硅隔离层和金属氧化物气敏薄膜。所述金属氧化物为高纯锑掺杂二氧化锡、四氨基硝酸钯、四氨合硝酸铂。将高纯锑掺杂二氧化锡、四氨基硝酸钯、四氨合硝酸铂粉末混合后，使用松油醇、二乙二醇丁醚醋酸酯、乙基纤维素、邻苯二甲酸二丁酯、邻苯二甲酸二辛酯混合溶液制备成气敏浆料，将气敏浆料点涂在MEMS芯片的中心叉指电极区域，真空静置并缓慢加热后，得到所述传感器。该传感器的检测下限低，且高湿老化后分辨率稳定。