一种电感耦合等离子体源的关键参数设计与优化方法

本发明公开了一种电感耦合等离子体源的关键参数设计与优化方法，涉及电感耦合等离子体源技术领域，包括：根据电感耦合等离子体源设计目标，建立Plackett‑Burman正交矩阵。通过有限元分析模型计算响应值系数矩阵，建立一阶线性回归方程，筛选显著变量并根据主效应变量的系数计算并建立Box‑Behnken设计矩阵。通过有限元分析模型计算响应值系数矩阵，建立高阶多项式归方程。通过方差分析和三维响应面，确定各显著变量的重要程度和交互作用。通过求解拟合方程最大值，进而得到电感耦合等离子体源的最佳方案。本发明方案为传统设计方法无法解决的多目标、多变量等离子体源设计的难题提供了解决方案。