一种陶瓷基片线宽制造误差检测方法及系统

本发明涉及陶瓷基片检测的技术领域，公开了一种陶瓷基片线宽制造误差检测方法及系统，所述方法包括多层次校正和分析、二次验证线宽误差分析，从初始数据到最终定位，逐步聚焦问题根源，为工艺优化提供精确依据；并根据最终线宽误差分布和验证误差率，更新预设线宽标准值数据库，输入误差空间分布、误差周期性和环境干扰相关性系数，输出动态调整后的线宽标准值，生成包含误差分类等级和局部异常区域的高精度线宽检测报告，通过结合分类等级和异常区域信息，生成的高精度线宽检测报告为工艺优化提供了可靠依据。