一种用于裂纹电极电容分析的频域建模仿真方法

本发明公开了一种用于裂纹电极电容分析的频域建模仿真方法，该方法能够有效模拟拉伸过程中电导率和几何尺寸的双重影响，能够匹配传感器的实际结构与性能需求，实现了对传感器的性能全面分析和结构优化设计，覆盖了更广的应用场景，满足了复杂结构性能评估的需求。该方案将拉伸变形对电容的影响过程分解为两步仿真模型，分别考虑拉伸变形对材料电导率和几何尺寸的影响，从而综合评估电导率和几何形变对器件性能的作用。基于裂纹电极模型的频域电容仿真模拟方法，将拉伸影响电容的过程，构建为拉伸影响电导率和几何尺寸，进而影响电容的两步模型仿真，可以同时考虑电导率和几何形变对器件的影响。