一种高灵敏柔性触觉传感器及其制备方法、具身智能机器人

本发明公开了一种高灵敏柔性触觉传感器及其制备方法、具身智能机器人，其中，高灵敏柔性触觉传感器包括柔性腔室衬底、防腐保护圈、柔性盖膜、感应材料层和若干凸起结构。本发明的高灵敏柔性触觉传感器，得益于具有柔性密封腔室衬底、柔性盖膜与凸起结构的创新设计，柔性触觉传感器展现出高灵敏度和低检测限。同时，通过凸起结构的设立，提高了柔性传感器与交互对象的近距离感知性能，通过凸起结构、柔性盖膜与腔室的多层变形来增强传感器的微变形能力，进而提高传感器的灵敏度。