摘要
本发明公开了一种自动换环装置,应用于固晶设备上的子母环的上下料;包括机架、料盒、第一升降驱动机构、机械转移系统和暂放盘;料盒用于存储子母环,料盒设于机架上,料盒的一侧设有出料口;第一升降驱动机构用于驱使料盒沿竖直方向移动;机械转移系统和暂放盘均设于出料口外侧。本自动换环装置在料盒的出料口外设置暂放盘用于暂时放置从蓝膜张紧机构上取下的空的子母环,使得机械转移系统无需一次性将空的子母环置入料盒,只需将空的子母环置于暂放盘后即可将承载有晶片的子母环取放至蓝膜张紧机构,有效地提升了子母环的上料速度,缩小了固晶设备的空档期,利于提升固晶工作效率。