一种用于消除扫描白光干涉测量中伪影的方法

本发明涉及扫描白光干涉技术领域，尤其涉及一种用于消除扫描白光干涉测量中伪影的方法，包括通过采集的白光干涉图中得到在光轴方向某一位置上某像素点的白光干涉信号；采用基于共参考点的广义互相关算法计算被测物体表面的初步高度分布；利用相邻点互相关累加算法精确定位被测物体初步高度分布中的伪影区域：如果存在伪影，则在伪影区域内选择邻近参考点，通过基于邻近参考点的广义互相关算法计算伪影区域内各像素点与邻近参考点的相对高度差，并据此对初步高度分布进行伪影矫正，获得满足预设校正精度要求的新的高度分布。如果不存在伪影，则直接输出初步高度分布。本发明能解决扫描白光干涉术中因白光干涉信号失真导致重建结果出现伪影的问题。