双通道高效晶圆分选机

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双通道高效晶圆分选机
申请号:CN202423087637
申请日期:2024-12-13
公开号:CN223612376U
公开日期:2025-11-28
类型:实用新型专利
摘要
本实用新型涉及晶圆分选机技术领域,公开了双通道高效晶圆分选机,包括主体,所述主体的内部固定连接有驱动源,所述驱动源的驱动端固定连接有机械臂,所述机械臂一侧转动连接有两个转动块,两个所述转动块的内部均滑动连接有两个滑动块,所述滑动块的内侧固定连接有滑动板,所述滑动板的一侧固定连接有限制块,所述滑动板的外侧滑动连接有连接块,所述连接块远离限制块的一侧固定连接有夹具,所述主体的四周均固定连接有用于对其进行限制的限制组件。本实用新型中,而不需要为每种尺寸的晶圆都配备专门的分选设备,这对于半导体制造企业来说,可以大大降低设备采购成本,提高设备的资产利用率。
技术关键词
晶圆 滑动板 机械臂 分选机技术 滑动杆 滑动块 分选设备 控制面板 夹具 半导体 资产 企业 卡槽 尺寸 弹簧