一种溅射台用转移手臂

本实用新型公开了一种溅射台用转移手臂，涉及物理气相沉积设备技术领域，包括机械臂，机械臂的一端固定安装有吸附式末端执行器，所述吸附式末端执行器包括安装盘、晶圆吸附组件和除尘组件，所述晶圆吸附组件固定安装在安装盘的一侧，所述除尘组件固定安装在晶圆吸附组件的一侧，所述除尘组件包括除尘气舱。本实用新型中，气泵将过滤干净的气体通过气管泵入到除尘气舱的内部，再由除尘气舱上的除尘气口的一端排出，将晶圆膜层上的固体颗粒吹走，不会有固体颗粒进入到气舱的内部，确保晶圆吸附组件能够稳定吸附晶圆，同时对晶圆的一侧进行除杂操作，使得机械臂可直接将晶圆放入输送机构的内部，缩短晶圆的加工周期。