摘要
本实用新型公开了一种光罩自动更换装置，包括数据处理终端和存储吹扫机构、光罩传输机构，数据处理终端还与外部机台通信连接；数据处理终端供与向存储吹扫机构发送更换光罩信息，向外部机台发送退出光罩信号，并向光罩传输机构发送包含更换光罩地址信息和退出光罩地址信息的运输指令；存储吹扫机构包括吹扫控制单元和光罩存储单元，吹扫控制单元供与接收更换光罩信息，并向数据处理终端反馈更换光罩在光罩存储单元中的更换光罩地址信息；光罩传输机构包括自动移动机器人，供与基于运输指令将光罩存储单元中的更换光罩运输至外部机台，并将外部机台中的退出光罩运输至光罩存储单元。提高了机台生产效率，节省了人力成本。
