一种衬底清洗花篮

本实用新型公开了一种衬底清洗花篮，属于半导体芯片制造技术领域，包括花篮本体，其特征在于：在所述花篮本体上表面开设有梯形槽孔；所述梯形槽孔的上端开口宽度大于下端开口宽度；在所述梯形槽孔的侧壁开设有M个放置槽；所述放置槽与上底的夹角不等于90度；在所述放置槽的底部开设有N个放置槽通孔；其中：M和N均为大于0的自然数。本实用新型采用上述技术方案，改变传统晶圆竖直放置角度，加工面朝下下降低溶液内脏污附着的风险；另外放置槽可兼容多类型尺寸，避免制作多规格清洗篮，降低了生产成本，而且结构较为简单。