一种纳米流体器件制备中金属针尖的自动化暴露装置

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一种纳米流体器件制备中金属针尖的自动化暴露装置
申请号:CN202421687088
申请日期:2024-07-17
公开号:CN222971785U
公开日期:2025-06-13
类型:实用新型专利
摘要
本实用新型提供了一种纳米流体器件制备中金属针尖的自动化暴露装置,样品搭载模块包括支撑部件,支撑部件连接有样品托盘,样品托盘上设置多个穿孔用于放置样品载具,每个穿孔设定通道序号;样品托盘在第一驱动器的驱动下旋转;抛光工作模块包括抛光盘、第二驱动器,抛光盘内设置磨具并装有导电溶液,所述抛光盘在第二驱动器的驱动下沿着与样品托盘相反的方向旋转;样品载具内装有包埋材料密封的金属针尖,样品载具置于穿孔内时,金属针尖的毛细玻璃管密封端没入所述抛光盘的导电溶液,并与磨具相互干涉;电路通讯模块将样品载具放置的通道序号信号和在通道内的金属针尖的抛光参数信号传输至控制电路,用以控制自动化暴露装置的启停。
技术关键词
纳米流体器件 暴露装置 样品托盘 主机外壳 抛光盘 包埋材料 支撑部件 驱动器 工作模块 支撑杆端部 载物台 穿孔 通讯 磨具 毛细玻璃管 电源转换电路 夹头 人机交互界面