摘要
本发明涉及封装结构技术领域,更涉及封装偏移堆叠DRAM结构的方法。步骤:DRAM芯片为芯片,将第一个芯片的背面粘贴在临时基座上;在第一个芯片的正面偏移粘贴另一个芯片的背面;其余芯片也按此粘贴,塑封,通过钻孔在塑封后的堆叠芯片中成型多个通孔,每个通孔都分别连通一个芯片;在每个通孔内补入导电材料,形成TMV结构,在TMV后的堆叠芯片的正面形成重布线层,在重布线层上形成凸块,去除临时基座,得到所需结构;其中,偏移堆叠时,不从第一个芯片计算,从其后的第二个芯片开始计算,每2个芯片偏移方向相同,每2个芯片堆叠后改变偏移方向。本发明实现多个DRAM芯片堆叠,优化了封装结构,降低了封装难度。