一种超高分辨率转台

本发明涉及精密测量与控制技术领域，具体涉及一种超高分辨率转台，包括：气浮轴系包括轴承转子和轴承定子，所述轴承转子与所述轴承定子转动连接；多读数头光栅反馈单元与所述气浮轴系连接，多读数头信号处理单元与所述多读数头光栅反馈单元的信号输出端连接；陶瓷电机单元与所述轴承定子相对固定，且驱动所述轴承转子转动；伺服控制单元与所述多读数头信号处理单元和陶瓷电机单元连接；本发明通过多读数头光栅反馈单元对角度信号进行同步采集与实时平均处理，降低了电子细分噪声，因此提高了光栅的有效角度分辨率；通过陶瓷电机单元的摩擦驱动方式以及均匀分布的设计，消除了单一驱动力可能导致的倾斜误差。