场效应管的阈值电压测量方法及装置

本申请涉及半导体技术领域，提供了场效应管的阈值电压测量方法及装置，该方法包括基于初始栅极电压递增算法对待测场效应管施加栅极电压，并获取所述初始栅极电压递增算法对应的第一栅极电压‑漏极电流变化曲线；基于所述初始栅极电压递增算法对应的反向栅极电压递减算法对所述待测场效应管施加栅极电压，并获取所述反向栅极电压递减算法对应的第二栅极电压‑漏极电流变化曲线；基于所述第一栅极电压‑漏极电流变化曲线与所述第二栅极电压‑漏极电流变化曲线确定阈值电压。该方法克服了现有技术依赖于简单的栅极电压递增过程对阈值电压进行测量的局限性，提高了阈值电压测量结果的精确性。