一种应用在面板生产领域的掩膜构建方法

本发明涉及一种应用在面板生产领域的掩膜构建方法，属于显示面板生产技术领域，包括：利用经验补偿脚本将设计版图补偿成旧掩膜版图；利用模型查找所述旧掩膜版图中补偿不准的位置，得到仿真轮廓与目标边界的差异；对找到的位置收集数据验证；若验证不一致，则利用实际生产数据对模型进行优化，直到所有补偿不到位的位置的仿真数据与实际生产数据完全一致；利用优化好的模型与修正工具对所述设计版图进行修正；根据修正结果更新补偿不准位置的补偿值；形成新掩膜版图；对所述新掩膜版图进行可制造性检查，若检查通过则进行掩膜生产。本方案可以对面板设计版图进行掩膜补偿质量检查，找到补偿不良的位置，降低测量工作量。