半导体器件及其制备方法、芯片、电子设备

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半导体器件及其制备方法、芯片、电子设备
申请号:CN202411601353
申请日期:2024-11-11
公开号:CN119208372B
公开日期:2025-03-07
类型:发明专利
摘要
本公开提供了一种半导体器件及其制备方法、芯片、电子设备,涉及半导体技术领域,旨在提高半导体器件的阈值电压的同时,提升半导体器件的可靠性,半导体器件包括衬底、势垒层、第一盖帽层、第二盖帽层、源极和漏极,势垒层设置于衬底的一侧,第一盖帽层设置于势垒层远离衬底的一侧,第二盖帽层设置于第一盖帽层远离衬底的一侧,源极和漏极沿第一方向位于第一盖帽层的相对两侧,且均设置于势垒层远离衬底的一侧,第一方向平行于衬底,其中,第二盖帽层沿第一方向的尺寸,小于第一盖帽层沿第一方向的尺寸,第一盖帽层和第二盖帽层均包括P型掺杂的半导体材料,且第一盖帽层的掺杂浓度小于第二盖帽层的掺杂浓度。上述半导体器件应用于芯片中。
技术关键词
盖帽层 半导体器件 势垒层 衬底 半导体材料 栅极 尺寸 芯片 电子设备 电路板