高可靠性传感器

本申请涉及一种高可靠性传感器。一种电子装置(100)包含第一半导体裸片和第二半导体裸片(102，110)，所述第一半导体裸片(102)具有：在正交的第一方向和第二方向(X，Y)的第一平面中延伸的侧；沿着所述侧的传感器电路(103)；以及沿着正交的第三方向(Z)从所述侧向外延伸的导电端子(117)，所述第二半导体裸片(110)接合到所述第一半导体裸片(102)且具有：底侧；横向侧；以及绝缘层(112)，所述底侧与所述第一半导体裸片(102)的所述侧间隔开且面向所述侧以形成用于所述传感器电路(103)的受保护腔室(109)，所述第二半导体裸片(110)的所述横向侧沿着所述第一方向(X)与所述导电端子(117)间隔开，所述绝缘层(112)沿着所述第二半导体裸片(110)的所述横向侧延伸，且所述绝缘层(112)沿着所述第一方向(X)与所述导电端子(117)间隔开且面向所述导电端子。