多通道带通滤波器设计方法、制备方法、测试方法及装置
申请号:CN202411459315
申请日期:2024-10-18
公开号:CN119414595A
公开日期:2025-02-11
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种多通道带通滤波器设计方法、制备方法、测试方法及装置,包括:设计8~12μm长波红外多谱段带通滤波器,初始膜系结构为Sub|(HL)s2H(LH)s|Air;向初始膜系结构中引入匹配层结构,引入匹配层后的膜系结构为Sub|aLbH cL(HL)s 2H(LH)s dL|Air,其中,aLbH cL和dL为匹配层,a、b、c和d为匹配层系数;根据谱段范围选取合适的中心波长,利用膜系设计软件进行多次模拟,去掉虚设层的膜系结构为Sub|aLbH cL dL|Air,对去掉虚设层的膜系结构进行优化以确定匹配层系数;基于确定的匹配层系数,确定优化后的膜系结构为Sub|1.8LHL(HL)12H(LH)11.8L|Air。应用本发明的技术方案,以解决现有技术中红外成像检测灵敏度和准确性差,且只能响应单一气体的红外波段的技术问题。
技术关键词
带通滤波器
多通道
上位机软件单元
光谱成像芯片
相机系统
膜系结构
匹配层结构
测试方法
探测器
光谱响应特征
间隔层结构
图像传感器
低折射率材料
高折射率材料
氧化钒
布拉格
刻蚀工艺