一种射频电源的自适应负载匹配方法及装置

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一种射频电源的自适应负载匹配方法及装置
申请号:CN202410848709
申请日期:2024-06-27
公开号:CN118868553B
公开日期:2025-02-18
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种射频电源的自适应负载匹配方法及装置,涉及供电管理技术领域,包括:建立负载的负载数据集,建立负载特征提取结果,搭建负载的稳态预测网络;对负载进行随机抽帧采样,建立抽帧采样结果,执行稳态预测,生成稳态预测结果;进行负载的时间区间聚类,建立时间区间聚类结果,并重新进行时间区间聚类结果内的数据采集,生成数据采集结果;配置综合评价公式,生成阻抗特征综合评价结果;建立射频电源的阻抗匹配模型,生成射频电源的匹配参数;控制射频电源进行负载的供电控制管理。本发明解决了现有技术中射频电源在面对动态负载变化时,响应速度慢,无法及时调整匹配参数,导致能量传输效率低下的技术问题。
技术关键词
射频电源 阻抗特征 供电控制管理 阻抗匹配模型 稳态 聚类 负载匹配装置 负载特征 特征提取模块 供电管理技术 数据采集模块 参数 采样点 网络 驻波比 节点 损耗 标识