一种固晶机换片优化方法及系统

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一种固晶机换片优化方法及系统
申请号:CN202410835288
申请日期:2024-06-26
公开号:CN118380355B
公开日期:2024-10-29
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种固晶机换片优化方法及系统,涉及半导体处理领域。所述方法包括:当第一芯片进入载带预设区域,采集第一芯片图像;获得基准芯片图像和基板图像;获得芯片校对信号;当所述芯片校对信号为1,获得定位坐标标识结果;进行粘合参数寻优,生成粘合参数优化结果;通过超声波换能器,拾取所述第一芯片移动至基板上方预设区域;将所述第一芯片与基板进行对准,通过热发生器,将所述第一芯片固定于所述基板。解决了传统的固晶机,针对不同芯片需要配置不同的识别模型,导致智能固晶机的通用性较差的技术问题,通过搭建通用性较强的数据服务中心,可以实现迁移性较强的固晶机换片控制,提高了固晶机的精准度和效率的技术效果。
技术关键词
芯片 超声波换能器 图像 坐标 匹配网络 列表 视觉传感器 粘合剂 基板材料 参数 机器臂 基准 标识 发生器 特征值 特征点 模块 固晶机 信号
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