晶体管、晶体管制备方法和芯片

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晶体管、晶体管制备方法和芯片
申请号:CN202410823790
申请日期:2024-06-24
公开号:CN118782604A
公开日期:2024-10-15
类型:发明专利
摘要
本申请涉及半导体技术领域,公开了一种晶体管、晶体管制备方法和芯片。本申请的晶体管包括栅极金属、第一多晶硅二极管、第一隔离层和第二隔离层;第一多晶硅二极管包括第一区域、第二区域、第三区域;第一隔离层位于第一多晶硅二极管和栅极金属之间,第一隔离层包括第一隔离区域和第二隔离区域,第一隔离区域的厚度大于第二隔离区域;第一隔离区域与第三区域相接,并且第一隔离区域设置有接通栅极金属和第三区域的第一接触孔,第二隔离区域与第二隔离层相接,第二隔离层与第一区域相接。如此,在刻蚀接触孔的过程中,即使多晶硅二极管边缘处的光刻胶和第一隔离层被刻蚀,第二隔离层仍然可以包裹多晶硅二极管,避免多晶硅二极管与栅极金属接触。
技术关键词
多晶硅二极管 晶体管 N型多晶硅 接触孔 半导体 硅衬底 栅极 二氧化硅 气相沉积工艺 氮化硅 芯片 接触面 单层 光刻胶 速率 低压 包裹