一种半导体芯片生产设备及其生产工艺

本发明涉及芯片加工技术领域，具体涉及一种半导体芯片生产设备及其生产工艺；本发明提供了一种半导体芯片生产设备，包括：工作台上转动设置有一转盘机械手，转盘机械手适于夹取工件；检测件适于检查工件是否合格；载料带，载料带适于承载工件；驱动轮适于驱动载料带水平移动；清理打标组件，若干清理打标组件环驱动轮外壁周向设置，且清理打标组件适于插入承载槽内；其中，驱动轮周向转动，至一个清理打标组件自下向上插入承载槽内时，清理打标组件适于向工件底壁吹风以冷却工件；工件位于清理打标组件正上方时，清理打标组件的打标板向外膨胀，以对载料带底壁打标；清理打标组件自承载槽内脱离时，清理打标组件适于向标记吹风以干燥标记。